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特点：· 易于安装· 基于视窗结构的软件，很容易操作· 先进的光学设计，以确保能发挥出zei佳的系统性能· 能够自动的以0.01度的分辨率改变入射角度· 高功率的DUV－VIS光源，能够应用在很宽的波段内· 基于阵列设计的探测器系统，以确保快速测量· zei多可测量12层薄膜的厚度及折射率· 能够用于实时或在线的监控光谱、厚度及折射率等参数· 系统配备大量的光学常数数据及数据库
· 对于每个被测薄膜样品，用户可以利用先进的TFProbe3.0软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型（EMA）测量分析；· 三种不同水平的用户控制模式：专家模式、系统服务模式及初级用户模式· 灵活的专家模式可用于各种独特的设置和光学模型测试· 健全的一键按钮(Turn－key)对于快速和日常的测量提供了很好的解决方案· 用户可根据自己的喜好及操作习惯来配置参数的测量· 系统有着全自动的计算功能及初始化功能· 无需外部的光学器件，系统从样品测量信号中，直接就可以对样品进行准确的校准· 可京密的调节高度及倾斜度
· 能够应用于测量不同厚度、不同类型的基片· 各种方案及附件可用于诸如平面成像、测量波长扩展、焦斑测量等各种特殊的需求· 2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面。