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美国 AST SE200BM 椭偏仪
仪器描述特点: 易于安装 基于视窗结构的软件,很容易操作 先进的光学设计,以确保能发挥出zei佳的系统性能 能够自动的以0.01度的分辨率改变入射角度 高功率的DUV-VIS光源,能够应用在很宽的波段内 基于阵列设计的探测器系统,以确保快速测量 zei多可测量12层薄膜的厚度及折射率 能够用于实时或在线的监控光谱、厚度及折射
2022-02-25